皖儀科技精彩亮相 CSEAC 2026，以專業(yè)檢測/監(jiān)測解決方案助力半導體國產(chǎn)化進程
2026-09-01
2026年8月31日-9月2日，第十四屆半導體設(shè)備材料及核心部件展（CSEAC 2026）在無錫太湖國際博覽中心盛大啟幕。作為半導體設(shè)備材料及核心部件領(lǐng)域的“風向標”盛會，本屆展會以“做強中國芯 擁抱芯世界”為理念，規(guī)劃超7萬平方米展覽面積，設(shè)8個展館，吸引國內(nèi)外1300余家企業(yè)參展。展會集中展示半導體設(shè)備、材料、零部件領(lǐng)域最新技術(shù)成果與創(chuàng)新產(chǎn)品，覆蓋晶圓制造設(shè)備、封測設(shè)備、核心部件及材料三大板塊。作為全球精密科學儀器專業(yè)供應(yīng)商，皖儀科技攜半導體行業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案精彩亮相本次大會。
生態(tài)共建，注入半導體國產(chǎn)化“芯”動能
深耕精密科學儀器研發(fā)制造二十余年，皖儀科技始終以技術(shù)創(chuàng)新為刃，致力于為半導體行業(yè)提供全面專業(yè)的監(jiān)測/檢測解決方案。展會期間，皖儀科技展臺成為技術(shù)交流熱點，通過實物演示及解決方案展示，吸引了大量芯片制造、設(shè)備材料企業(yè)及研究機構(gòu)等專業(yè)人士駐足交流。
其中，AMC監(jiān)測、一站式密封性檢測、實驗室分析儀器三大核心解決方案，憑借在半導體制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的創(chuàng)新應(yīng)用，引發(fā)行業(yè)高度關(guān)注。
AMC監(jiān)測解決方案
隨著半導體制程不斷逼近摩爾極限，氣態(tài)分子污染物（AMC，包括酸、堿、有機物等）的痕量級管控已成為影響芯片良率與產(chǎn)能的關(guān)鍵因素。皖儀科技依托高精度質(zhì)譜、色譜領(lǐng)域多年的技術(shù)積淀，推出專業(yè)化的AMC監(jiān)測解決方案，以高準確與穩(wěn)定性、全自動化的儀器體系，以AI賦能，為半導體潔凈室環(huán)境、機臺環(huán)境提供專業(yè)化監(jiān)測服務(wù)。
MAS 1000 AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)通過整合離子色譜與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀，可同時在線監(jiān)測陰陽離子（F?、Cl?、Br?、NO??、NO??、SO?²?、PO?³?、NH??等）和116種VOCs（包括苯系物、鹵代烴、醛酮、摻雜劑、溶劑、副產(chǎn)物等），實現(xiàn)PPT級酸、堿、有機物全面監(jiān)控。MAS 2000 AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)通過整合CRDS、化學發(fā)光、紫外熒光、PID等原理之分析儀，可同時在線監(jiān)測HCl、HF、SO?、NO?、O?、NH?、TVOC等氣態(tài)分子污染物，實現(xiàn)PPB級酸堿有機物的全面監(jiān)控
一站式密封性檢測解決方案
針對半導體電子元器件及密封件檢漏，皖儀科技提供一站式密封性解決方案，由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀組成，支持真空噴氦法、吸槍法等多種檢測方式。在大型半導體生產(chǎn)中，氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于刻蝕、CVD、PVD、真空爐、離子注入等工藝。它能在工藝維護后迅速確認工藝完整性和漏孔修復部位，確保真空管線、氣柜及復雜氣體輸送管線以及生產(chǎn)設(shè)施的安全高效運行。
SFJ-16C/D單泵氦質(zhì)譜檢漏儀采用自有獨特的軟件算法和經(jīng)客戶驗證的真空系統(tǒng)設(shè)計，可滿足嚴苛的泄漏檢測要求；SFJ-16F雙泵氦質(zhì)譜檢漏儀采用雙分子泵組合技術(shù)，可在量程范圍內(nèi)快速響應(yīng)，在極短時間內(nèi)完成從達到開檢條件到給出測試結(jié)果，獨特設(shè)計的真空系統(tǒng)可保持持續(xù)較高的氦氣抽速和響應(yīng)速度。
實驗室分析儀器解決方案
皖儀科技分析儀器產(chǎn)品可應(yīng)用于半導體工藝流程中的多個環(huán)節(jié)。離子色譜儀可用于半導體超純水、高純試劑、半導體表面痕量雜質(zhì)離子的檢測。氣相、液相色譜儀，氣質(zhì)、液質(zhì)聯(lián)用儀可用于晶圓表面有機污染物、濕電子化學品的有機污染物、光刻膠有機物分析/配方剖析、電鍍液添加劑分析、電子電器中有害有機物等成分分析。
賦能設(shè)備材料升級，共話產(chǎn)業(yè)未來
當前，半導體產(chǎn)業(yè)向更高制程、更優(yōu)性能邁進，設(shè)備材料及核心部件的自主可控成為突破“卡脖子”難題的關(guān)鍵所在。皖儀科技深度融入產(chǎn)業(yè)生態(tài)，以專業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案，助力半導體設(shè)備材料國產(chǎn)化進程。從守護生產(chǎn)環(huán)境到保障產(chǎn)品質(zhì)量，從支撐研發(fā)創(chuàng)新到促進產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，皖儀科技用技術(shù)力量為半導體產(chǎn)業(yè)迭代升級添磚加瓦。未來，皖儀科技將持續(xù)深耕，以更多硬核方案為半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入“芯”動能，秉持自主創(chuàng)新初心，攜手共創(chuàng)全球半導體產(chǎn)業(yè)更璀璨的未來！
